預熱烘箱，愛義信 HMDS烘箱 HMDS預處理烘箱HMDS涂到樣品表面后，經烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變為疏水性，此疏水性能夠很好的與光刻膠結合，增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用

HMDS真空烘箱HMDS涂到樣品表面后，經烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變為疏水性，此疏水性能夠很好的與光刻膠結合，增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用

晶圓烘箱，HMDS預處理烘箱HMDS涂到樣品表面后，經烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變為疏水性，此疏水性能夠很好的與光刻膠結合，增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用。